德国SP Status Pro原装 μLine激光干涉仪测量系统μLine 3D Etalon

激光干涉仪测量系统的特点:

• 激光干涉仪中内置补偿单元
• 易编程的输入和输出端
• 温度、气压和湿度传感器与激光干涉仪之间是无线通信
• 测量速度高达6m/s
• 设计紧凑,便于携带 (携带箱尺寸:350 x 200 x 250mm)
• 二维90°角度器 (精度:5μm/m)
• 三维90°角度器 (精度:5μm/m – 同样适用于直线度激光测量系统)

激光干涉仪测量系统的三维角度器 - 同样适用于直线度激光测量系统! (BG 840260)

该角度器内置可旋转的3D棱镜(180°的范围内每次旋转15°),通过该角度器可 便捷地进行2轴测量。

μLine 是一台双频且高精度的激光干涉仪。精准的机械测量与校正是装配和质量管理的一个重要组成部分。激光干涉仪测量系统通常对于测量机床,理想的测量精度范围是1微米。 Status Pro公司提供了不同的方法来实现所需的 度。μLine能同时进行三维数据测量,水平与垂直方向的测量数据能达到微米精度标准,其距离方向的测量数据 能达到纳米精度标准。